產品(pin)功能(neng)
1）設(she)備(bei)提(ti)供表(biao)征微(wei)觀形貌(mao)的(de)粗(cu)糙(cao)度(du)和臺階高、角度(du)等輪(lun)廓(kuo)尺寸測量(liang)功能(neng)；
2）測(ce)量(liang)中(zhong)提供自動(dong)對焦(jiao)、自動(dong)找(zhao)條(tiao)紋、自動(dong)調亮度(du)等自動(dong)化(hua)輔(fu)助(zhu)功能(neng)；
3）測量(liang)中提供自動(dong)拼(pin)接測(ce)量(liang)、定(ding)位自動(dong)多(duo)區域(yu)測量(liang)功能；
4）分(fen)析(xi)中提(ti)供校(xiao)平、圖(tu)像(xiang)修(xiu)描(miao)、去(qu)噪和(he)濾(lv)波、區(qu)域提取(qu)等四(si)大(da)模塊(kuai)的(de)數(shu)據(ju)處理功能(neng)；
5）分(fen)析(xi)中提(ti)供粗糙(cao)度(du)分(fen)析(xi)、幾何輪(lun)廓(kuo)分(fen)析(xi)、結構(gou)分(fen)析(xi)、頻(pin)率(lv)分(fen)析(xi)、功能(neng)分(fen)析(xi)等五(wu)大分(fen)析(xi)功能(neng)；
6）分(fen)析(xi)中同(tong)時(shi)提(ti)供壹(yi)鍵分(fen)析(xi)和多(duo)文件分(fen)析(xi)等輔(fu)助(zhu)分(fen)析(xi)功能(neng)。
結果組(zu)成(cheng)
1、三維表(biao)面結(jie)構：粗(cu)糙(cao)度(du)，波紋度(du)，表(biao)面結(jie)構，缺(que)陷(xian)分(fen)析(xi)，晶粒分(fen)析(xi)等；
2、二(er)維圖(tu)像(xiang)分(fen)析(xi)：距離，半徑(jing)，斜(xie)坡(po)，格(ge)子圖(tu)，輪(lun)廓(kuo)線(xian)等(deng)；
3、表(biao)界(jie)面(mian)測(ce)量：透明(ming)表(biao)面形貌(mao)，薄(bo)膜厚(hou)度(du)，透明(ming)薄(bo)膜下(xia)的(de)表(biao)面；
4、薄(bo)膜和(he)厚(hou)膜的(de)臺階高度(du)測量(liang)；
5、劃痕形貌(mao)，摩(mo)擦(ca)磨(mo)損深(shen)度(du)、寬(kuan)度(du)和體(ti)積(ji)定(ding)量測(ce)量(liang)；
6、微(wei)電(dian)子表(biao)面分(fen)析(xi)和MEMS表(biao)征。
形貌(mao)儀主(zhu)要應(ying)用領域(yu)
1、用(yong)於太陽能(neng)電(dian)池測量；
2、用(yong)於(yu)半導體晶圓(yuan)測量(liang)；
3、用於鍍膜玻(bo)璃(li)的(de)平整(zheng)度(du)（Flatness)測量(liang)；
4、用(yong)於機(ji)械(xie)部(bu)件的(de)計(ji)量(liang)；
5、用於塑(su)料，金(jin)屬和(he)其他(ta)復合型(xing)材(cai)料工(gong)件(jian)的(de)測(ce)量(liang)。
中圖(tu)W1光(guang)學(xue)3D輪(lun)廓(kuo)儀可(ke)廣泛應(ying)用於半(ban)導(dao)體制造(zao)及(ji)封裝(zhuang)工(gong)藝(yi)檢測、3C電(dian)子玻璃(li)屏(ping)及(ji)其精密(mi)配件、光學(xue)加工(gong)、微納(na)材(cai)料及(ji)制造(zao)、汽車零(ling)部(bu)件、MEMS器件(jian)等超精密(mi)加工(gong)行(xing)業(ye)及(ji)航(hang)空航(hang)天、科(ke)研(yan)院(yuan)所等領(ling)域中(zhong)。
