表面粗(cu)糙度(du)測(ce)量(liang)儀(yi)DTR技(ji)術參數(shu)：
測(ce)量(liang)範(fan)圍(wei) Z軸（垂(chui)直）160μm / X軸（水平(ping)）17.5mm（0.71inch）
分辨(bian)率(lv)Z軸（垂(chui)直） 0．01μm/±20μm 0．02μm/±40μm 0．04μm/±80μm
測(ce)量(liang)參數(shu) Ra、Rz==Ry(JIS)、Rq、Rt==Rmax、Rp、Rv、R3z、R3y、Rz(JIS)、Rs、Rsk、Rku、Rsm、Rmr
顯示(shi)範(fan)圍(wei) Ra,Rq：0.005μm~16μm；Rz,Rv ,R3z,Rt,Rp,R3z,：0.02μm~160μm Rsm, Rs：1mm；Rmr：0~100%；Rsk：0~100%
圖(tu)形(xing) 支(zhi)承(cheng)率(lv)曲線，粗糙度(du)輪(lun)廓(kuo)，直接(jie)輪(lun)廓(kuo)
濾波(bo)器(qi) RC,PC-RC,Gauss,D-P
取樣長度(lr) 0.25,0.8,2.5mm
評定長度（ln） Ln= lr×n n=1~5
測(ce)量(liang)原(yuan)理(li) 位移(yi)式差(cha)動(dong)電感(gan)
觸針(zhen) 天(tian)然(ran)金(jin)剛(gang)石(shi)，90錐(zhui)角，5μm針(zhen)尖半徑
測(ce)力(li) <4mN
導(dao)頭(tou) 硬質合金，滑(hua)行方向(xiang)半徑40mm
滑(hua)行速(su)度(du) lr=0.25, Vt=0.135mm/s lr=0.8, Vt=0. 5mm/s lr=2. 5, Vt=1mm/s 返回(hui) Vt=1mm/s
示值(zhi)誤差(cha) 不大(da)於±10%
示(shi)值(zhi)變(bian)動(dong)性 不大(da)於6%
