產(chan)品(pin)詳(xiang)情(qing)
簡單介紹(shao)：
薄(bo)膜(mo)臺(tai)階(jie)形貌、粗糙度(du)、波(bo)紋度。
詳(xiang)情(qing)介紹(shao)：
測量範(fan)圍(wei)
導軌直(zhi)線(xian)度(du)：≤0.05μm/10mm(λ=0.25mm)
采(cai)數(shu)間(jian)隔：0.05μm
傳感(gan)器線(xian)性精(jing)度(du)：0.1μm+0.2% f.s
傳感(gan)器量(liang)程/分辨率(lv)比(bi)：1：262144
輔助(zhu)電子攝像(xiang)單元：30萬像素(su)
載(zai)物臺(tai)X、Y向(xiang)定位(wei)精度：0.02mm
傳感(gan)器Z向(xiang)移動定位(wei)精度：0.02mm
如(ru)需更(geng)多(duo)詳(xiang)細(xi)產(chan)品(pin)信(xin)息(xi)，請與我(wo)們聯系！
儀(yi)器(qi)特(te)點
采(cai)用氣浮(fu)隔振機(ji)臺(tai)隔離(li)環境(jing)振動對(dui)測量的(de)影響。
測力(li)控(kong)制單元采(cai)用音圈電機(ji)實(shi)時(shi)控(kong)制以保(bao)證輕(qing)測量力(li)。
測量時(shi)用罩殼(ke)隔離(li)空(kong)氣(qi)流(liu)動對(dui)測量的(de)影響。
采(cai)用電子攝像(xiang)單元輔助(zhu)測量調整(zheng)及(ji)測量過程(cheng)控(kong)制。
配(pei)置(zhi)多(duo)維(wei)電動載(zai)物臺(tai)對零(ling)件(jian)測量部(bu)位(wei)進行(xing)測量。
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